真空磚機(jī)真空泵的選用真空泵時需要注意事項：

1 、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空磚機(jī)設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要1×10—5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要 5×10—6mn1Hg 。通常選擇泵的真空度要高于真空磚機(jī)設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。

2 、正確地選擇真空磚機(jī)真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為10一3~10一7mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5x10一4一5×10一6mmHg 。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在10一8mmHg下長期工作。

3 、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空磚機(jī)設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

4 、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。 5 、真空磚機(jī)設(shè)備對油污染的要求。若磚機(jī)設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。

6 、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。

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